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影响ITO氯化铁蚀刻液蚀刻速率的因素：a、Fe3+浓度的影响：Fe3+的浓度对蚀刻速率有很大的影响。蚀刻液中Fe3+浓度逐渐增加，对铜的蚀刻速率相应加快。当所含超过某一浓度时，由于溶液粘度增加，蚀刻速率反而有所降低。b、蚀刻液温度的影响：蚀刻液温度越高，蚀刻速率越快，温度的选择应以不损坏抗蚀层为原则，一般在40~50℃为宜。c、盐酸添加量的影响：在蚀刻液中加入盐酸，可以阻止FeCl3水解，并可提高蚀刻速率，尤其是当溶铜量达到37.4g/L后，盐酸的作用更明显。但是盐酸的添加量要适当，酸度太高，会导致液态光致抗蚀剂涂层的破坏。d、蚀刻液的搅拌：静止蚀刻的效率和质量都是很差的，原因是在蚀刻过程中在板面和溶液里会有沉淀生成，而使溶液呈暗绿色，这些沉淀会影响进一步的蚀刻。

TIO蚀刻液的基本信息：（1）配方。①热水12g，氟化铵15g，草酸8g，硫酸铵10g，甘油40g，硫酸钡15g；②氟化铵15g，草酸7g，硫酸铵8g，硫酸钠14g，甘油35g，水10g；③氢氟酸60（体积数，下同），硫酸10，水30。（2）配制方法。配制蚀刻液①和②时，将上述原料与60℃热水混合，搅拌均匀即可。配置时不要使溶液溅到皮肤上，而且操作时应戴上口罩。配制蚀刻液③时，按配方将氢氟酸和硫酸混合，然后将混合液倒入水中（不能将水倒入混合液），并不断搅拌。（3）使用方法。使用刻蚀液①或②时，把要蚀刻的玻璃洗净、晾干，建议用电炉或红外线灯将玻璃稍微加热，以便于蚀刻。蚀刻时，用毛笔蘸蚀刻液书写文字或图案于玻璃上，2min蚀刻工作即完成。制作毛玻璃时，将玻璃洗净、晾干，用刷子均匀涂上腐蚀液即可。

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