江苏芯片封装药水供应商 苏州圣天迈电子科技供应

在执行晶圆的前、后段工艺过程时，晶圆需要经过无数次的IC清洁剂清洗步骤，其次数取决于晶圆的设计和互连的层数。此外，由于清洗工艺过程要剥离晶圆表面的光刻胶，同时还必须去除复杂的腐蚀残余物质，金属颗粒以及其他污染物等，所以清洗过程是及其复杂的过程。清洗介质的选择从湿法清洗的实践中，越来越多出现难于解决的问题时，迫使科技人员探索和寻找替代的技术，除了如增加超声频率（采用MHz技术）等补救方法之外，选择的途径就是选择气相清洗技术来替代（热氧化法、等离子清洗法等）。

半水清洗主要采用有机溶剂和去离子水，再加上一定量的活性剂、添加剂所组成的清洗剂。该类清洗介于溶剂清洗和水清洗之间。这些IC清洁剂都属于有机溶剂，属于可燃性溶剂，闪点比较高，毒性比较低，使用上比较安全，但是须用水进行漂洗，然后进行烘干。有些清洗剂中添加5%~20%的水和少量表面活性剂，既降低了可燃性，又可使漂洗更为容易。半水清洗工艺特点是：清洗能力比较强，能同时除去极性污染物和非极性污染物，洗净能力持久性较强；清洗和漂洗使用两种不同性质的介质，漂洗一般采用纯水，漂洗后要进行干燥。

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